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空氣潔凈度是對精密產(chǎn)品質(zhì)量保證的重要手段

空氣潔凈度是對精密產(chǎn)品質(zhì)量保證的重要手段
  隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展,對實驗、研究和生產(chǎn)的環(huán)境要求越來越高,因而調(diào)節(jié)空氣品質(zhì)的技術(shù)——空氣調(diào)節(jié)技術(shù)的內(nèi)容也隨之逐步擴大?,F(xiàn)代空調(diào)技術(shù)不僅包含調(diào)節(jié)空氣的溫度、濕度和速度的概念,而且還包含了調(diào)節(jié)其潔凈度、壓力以及成分、氣味的概念。
  現(xiàn)代化的科學(xué)實驗和生產(chǎn)活動對空氣潔凈度的要求是從下述四方面提出來的:
  1、 加工的精密化。
  現(xiàn)代產(chǎn)品的加工精度已經(jīng)進入亞微米量級,而且正在向更小的量級發(fā)展:利用分子束外延技術(shù)已可按一個一個原子層來生長單晶材料;利用離子束刻蝕技術(shù)也可以對半導(dǎo)體材料進行一個一個原子的刻蝕剝離等等。因此,科學(xué)界提出了在本世紀(jì)末可能進行原子級加工的設(shè)想,即加工的幾何圖形寬度可以小到幾個原子的線度。
  2、 產(chǎn)品的微型化。
  原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件,現(xiàn)在縮減到零點幾立方厘米,其中:集成電鍍的圖形距已小到不足1um,一個電子元件的二氧化硅保護膜厚0.5um,光致抗蝕劑厚度只有0.2um,而各層甚至只有0.03um。
  3、 產(chǎn)品的高純度(或高質(zhì)量)。
  由過去認為很純的“化學(xué)純”進入今天“電子純”、“超純”時代的藥品、試劑,以及各種超純材料,都是在高純度基礎(chǔ)上才能使原料充分發(fā)揮其固有特性或者呈現(xiàn)出新的特性。
  4、 產(chǎn)品的高可靠性。
  高可靠性對于電子化、自動化時代的產(chǎn)品,對于確保人的安全的無菌操作,對于分子生物學(xué)的遺傳工程都有特殊重要的意義。
  顯然,在上述四種情況下,如果有微粒進入產(chǎn)品,這種微粒就可能構(gòu)成障礙、短路、雜質(zhì)源和潛在缺陷。上述四種要求越高,則允許存在于環(huán)境空氣中的微粒數(shù)量越少,也就是潔凈程度越高。因此,潔凈技術(shù)已成為科學(xué)實驗和生產(chǎn)活動現(xiàn)代化的標(biāo)志之一。同時也是保證精密產(chǎn)品質(zhì)量的重要手段。

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