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18項(xiàng)芯片無(wú)塵室操作須知您知道嗎?

18項(xiàng)芯片無(wú)塵室操作須知您知道嗎?芯片指內(nèi)含集成電路的硅片,體積很小,常常是計(jì)算機(jī)或其他電子設(shè)備的一部分。

1 、處理芯片時(shí),必須戴上無(wú)纖維手套,使用清洗過(guò)的干凈鑷子挾持芯片,請(qǐng)勿以手指或其它任何東西接觸芯片,遭碰觸污染過(guò)的芯片須經(jīng)清洗,方得繼續(xù)使用:
2 、任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過(guò),或是鑷子掉落地上,必須拿去清洗請(qǐng)勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。
3、芯片清洗后進(jìn)行下一程序前,若被手指碰觸過(guò),必須重新清洗。
4 、把芯片放置于石英舟上,準(zhǔn)備進(jìn)爐管時(shí),若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染,必須將芯片重新清洗,并立即更換干凈的鑷子使用。
5、芯片必須放置盒中,蓋起來(lái)存放于規(guī)定位置,盡可能不讓它暴露。
6 、避免在芯片上談話,以防止唾液濺于芯片上,在芯片進(jìn)擴(kuò)散爐前,請(qǐng)?zhí)貏e注意,防止上述動(dòng)作產(chǎn)生,若芯片上沾有纖維屑時(shí),用氮?dú)鈽寚娭?br />7、從鐵弗龍(Teflon)晶舟,石英舟(Quartz Boat)等載具(Carrier)上,取出芯片時(shí),必須垂直向上挾起,避免刮傷芯片,顯微鏡鏡頭確已離芯片,方可從吸座上移走芯片。
8、芯片上,若已長(zhǎng)上氧化層,在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。
9、操作時(shí),不論是否戴上手套,手絕不能放進(jìn)清洗水槽。
10、使用化學(xué)站或烤箱處理芯片時(shí),務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi),不可使用塑料盒。
11、擺置芯片于石英舟時(shí),若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,然后再進(jìn)氧化爐。
12、請(qǐng)勿觸摸芯片盒內(nèi)部,如被碰觸或有碎芯片污染,必須重作清洗。
13、手套,廢紙及其它雜碎東西,請(qǐng)勿留置于操作臺(tái),手套若燒焦、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新。
14、非經(jīng)指示,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關(guān)閥控制鈕或把手。
15、奇怪的味道或反應(yīng)異常的溶液,顏色,聲響等請(qǐng)即通知相關(guān)人員。
16、儀器因操作錯(cuò)誤而有任何損壞時(shí),務(wù)必立刻告知負(fù)責(zé)人員或老師。
17、芯片盒進(jìn)出無(wú)塵室須保持干凈,并以保鮮膜封裝,違者不得進(jìn)入。
18、無(wú)塵室內(nèi)一律使用原子筆及無(wú)塵筆記本做記錄,一般紙張與鉛筆不得攜入。

芯片生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)無(wú)塵室的潔凈度控制要求非常高,對(duì)進(jìn)入風(fēng)淋室除塵過(guò)程要求也很高。

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